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我们一直在猜测，到底我国的光刻机设备，现在达到了什么水平？是不是能够媲美荷兰的ASML呢？实际上，我们确实有点多想了，虽然说我国的光刻机技术在不断的进步，但是确实离ASML有一段不小的距离。
为何我国光刻机发展缓慢呢？
一方面，我们知道的是，在光刻机中，实际上是容纳了将近80000多个零部件，在这里面包括了高纯度化学试剂、高密度封装基板、电子气体、离子注入机、晶圆划片机、气相外延炉、磁控溅射台等等。你可以想象这些内容包括众多的零部件，对于我们来说，实际上有着极其重要的结果，因为这是来自世界各地，因此我们确实缺乏零部件的供给。
另一方面，我们必须要知道的是。因为瓦纳森协议，我们在技术方面确实会缺少西方国家的技术支持，特别是以为首的西方国家，让我们在技术方面，特别是在半导体技术方面缺乏很多重要的技术共享。
实际上，ASML的成功不是一蹴而就的，它的很多技术包括专利，其实把握在人手中。在这种情况下，对于我国来说，发展光刻机技术确实充满了挑战。
但是，我们必须要看到的是，虽然我们现在量产的是90nm工艺制程，但是我们必须要知道，上海微电子已经宣布成功研发出22nm的光刻机，借助紫外线光源实现22nm分辨率，对于我国的光刻机技术，确实有了十足的提升。
我们必定会打破束缚，真正的走上一条，弯道超车的路。
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