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中科院的5nm激光光刻，是否意味着摆脱了EUV？众所周知，半导体制造领域，要想生产5nm芯片，必须要使用荷兰ASML的EUV光刻机，而荷兰的ASML是全球唯一的能够量产EUV光刻机的公司，我国大陆至今没有一台EUV光刻机，可以说是一项“卡脖子”的技术。
中科院的“弯道超车”？
最近，中科院研发成功了新型的5nm超高精度激光光刻加工方法。
光刻机最重要的指标就是光刻分辨率，波长越短，数值孔径NA越大，光刻精度就越高。荷兰ASML的EUV光刻机，从之前的193nm波长变成了13.5nm波长的EUV极紫外光。
中科院的5nm光刻技术，采用了完全具有自主知识产权的激光直写设备，利用激光与物质的非线性相互作用，提高了加工分辨率，可以制备5nm线宽的工艺。
距离量产“任重道远”
中科院发布了最新研究成果之后，就被各路媒体热炒，大有取代荷兰ASML的EUV光刻机的趋势，然而，还是那句话，实验室取得的技术突破，并没有达到量产的程度。从中科院发表的论文里，没有提到光刻机的字眼，也没有强调这种技术用来生产半导体芯片，这些天中科院也在辟谣，就跟两年前的10nm光刻新闻一样。
目前，我国最先进的光刻机是上海微电子的90nm光刻机，消息称，上海微已经突破了26nm工艺制程的光刻机，预计明年量产。然而，距离荷兰的AMSLEUV光刻机差距依然很大，至少有15年的差距，后者能够生产5nm工艺的芯片。上海微电子也仅仅是系统集成商，关键零部件来自于外来，很多超高精密的仪器、光源、计量设备对我国是禁运的，因此，只能依赖国内供应商。
总之，光刻机已经成为一个高度垄断的行业，荷兰的AMSL几乎垄断了所有的高端光刻机市场，台积电、三星、intel、海力士等与荷兰的ASML形成了利益共同体。随着，我国在光刻机领域的深入研究，必定有更多的研究成果，同时，我国在碳基芯片领域也有所突破，有望代替现在的硅基芯片。
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